美 엑셀리스, 평택에 575억원 투자…반도체 장비 아시아 거점센터 착공

미국 반도체 장비기업 엑셀리스(Axcelis Technologies)가 경기도 평택에 575억원을 투자해 아시아 생산·물류 거점을 확장한다. 미국에서 생산하던 일부 반도체 장비를 한국에서 생산하고 아시아 수출 물량의 국내 생산 비중을 높일 계획이어서 경기남부 반도체 공급망 강화에 기여할 것으로 기대된다.

경기도는 20일 평택 오성 외국인투자지역에서 엑셀리스 아시아 운영센터(AAOC) 착공식이 열렸다고 밝혔다.

이날 행사에는 추미애 경기도지사와 최원용 평택시장, 러셀 로우(Russell Low) 엑셀리스 사장 겸 최고경영자(CEO), 박영근 엑셀리스코리아 대표를 비롯해 산업통상부, KOTRA 인베스트코리아, 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 고객사 관계자 50여 명이 참석했다.

엑셀리스는 평택 오성 외국인투자지역 내 2만2326.5㎡ 부지에 약 575억원(4100만달러)을 투자해 연면적 약 1만8800㎡ 규모의 아시아 거점센터를 조성한다. 기존 평택 아시아 운영센터를 확장·이전하는 투자로, 2028년 상반기 준공을 목표로 하고 있다.

신규 시설에는 반도체 이온주입 장비 제조용 클린룸과 아시아·유럽 지역 부품 공급을 위한 물류창고, 고객 교육을 담당하는 트레이닝센터 등이 들어선다.

엑셀리스는 미국에서 생산하던 일부 장비와 제품의 생산을 한국으로 전환하고, 아시아 수출 물량 가운데 국내 생산 비중을 확대할 계획이다. 이를 통해 글로벌 고객사에 대한 장비 공급과 기술지원 역량을 강화한다는 방침이다.

이온주입 장비는 반도체 제조 과정에서 실리콘 등 반도체 소재에 특정 원소를 주입해 전기적 특성을 정밀하게 조절하는 핵심 설비다. 엑셀리스의 대표 제품인 ‘퓨리온(Purion)’ 시리즈는 이러한 공정에 사용되며, 특히 전기차와 산업용 전력기기에 활용되는 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 분야에서 경쟁력을 갖추고 있다.

경기도에 따르면 이번 투자는 한국과 싱가포르, 말레이시아 간 투자입지 경쟁을 거쳐 결정됐다. 도는 미국 본사 임원 면담과 투자 부지 발굴, 인허가 협의 등을 지원했으며, 엑셀리스는 지난 9월 평택 오성 외국인투자지역 입주계약을 체결했다.

도는 반도체 제조기업과 소재·부품·장비 기업이 밀집한 경기남부에 핵심 장비 생산시설이 확대되면 공급망 안정성과 산업 경쟁력 강화에 도움이 될 것으로 보고 있다.

지역 중소기업과의 협력 확대도 기대된다. 엑셀리스코리아는 2022년 국내 제조를 시작한 이후 국내 중소기업 35개사와 협력관계를 구축해 왔다.

추미애 경기도지사는 착공식에서 “이번 투자는 평택에서 쌓아 온 제조 역량을 바탕으로 생산과 물류, 고객 교육까지 기능을 확대하는 뜻깊은 출발”이라며 “경기도를 믿고 투자해주신 만큼 그 믿음에 확실한 성과로 보답하겠다”고 말했다.

이어 “경기도는 전력과 용수를 안정적으로 확보하기 위해 중앙정부, 관계기관과 긴밀히 협력하고 있으며 직접 반도체초격차위원회를 운영하고 있다”며 “기업이 믿고 안심하고 투자할 수 있도록 하고, 세계 반도체 산업의 미래를 이끄는 데 더욱 속도를 내겠다”고 강조했다.

러셀 로우 엑셀리스 CEO는 “이번 투자는 단순한 생산능력 확대를 넘어 글로벌 기술력과 한국의 우수한 제조 역량을 연결하는 중요한 투자”라며 “국내 고객사 및 협력사와의 긴밀한 파트너십을 바탕으로 AI 시대 반도체 혁신을 뒷받침하고 산업 생태계가 함께 성장하는 새로운 기회를 만들어 나가겠다”고 밝혔다.

엑셀리스는 미국 매사추세츠주에 본사를 둔 반도체 이온주입 장비 전문기업이다. 이번 평택 거점 확대를 통해 한국을 중심으로 한 아시아 생산 및 기술지원 체계를 강화할 계획이다.